單模垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL是指在襯底的垂直方向上構成諧振腔，沿垂直方向上出射激光的一種新型半導體激光器。
與FP半導體激光器不同, VCSEL的模式可分為沿諧振方向的縱模和垂直于諧振方向的橫模VCSEL在諧振方向的腔長(cháng)極短,一般為激射波長(cháng)量級,使VCSEL具備固有的單縱模特性,因此單?；蚨嗄CSEL是以垂直于諧振方向的橫模的模式數量來(lái)區分的。
VCSEL與傳統的邊發(fā)射激光器(EEL)不同的是其激光出射方向垂直于襯底表面，可獲得圓形光斑。由于諧振腔長(cháng)與波長(cháng)接近，動(dòng)態(tài)單模性比較好，可在光通信、光存儲、激光顯示和照明等領(lǐng)域得到廣泛應用。其綜合了高光束質(zhì)量的垂直腔面發(fā)射激光器和高功率激光二極管抽運的固體激光器的優(yōu)勢，可同時(shí)獲得高功率和高光束質(zhì)量的激光輸出。
VCSEL與其它半導體激光發(fā)光原理一樣，首先是粒子數反轉，通過(guò)外加能量激發(fā)半導體的電子由價(jià)帶躍遷到導帶，實(shí)現粒子數反轉；當電子由導帶返回價(jià)帶時(shí)，將能量以光能的形式釋放出來(lái)，即受激輻射作用。然后依靠上下兩個(gè)DBR反射鏡和增益物質(zhì)組成的諧振腔實(shí)現共振放大，諧振腔使激發(fā)出來(lái)的光在上下兩個(gè)DBR反射鏡之間反射，不停地通過(guò)有源區，使受激光多次能量反饋而形成激光。
筱曉提供的760nm單模垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）具有出光功率高，線(xiàn)寬窄以及良好的一致性等優(yōu)點(diǎn),2nm調諧范圍,專(zhuān)為可調諧半導體激光吸收光譜(TDLAS)應用而設計,內置防靜電(ESD)保護。
