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簡(jiǎn)要描述：筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司是一家被上海市評為高新技術(shù)企業(yè)的專(zhuān)業(yè)光學(xué)服務(wù)公司，業(yè)務(wù)涵蓋設備代理以及項目合作研發(fā)，建有*的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實(shí)驗室，為國內外客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)技術(shù)支持服務(wù)XUV/EUV 寬帶軟X射線(xiàn)高分辨率光譜儀 2-100nm
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2023-07-03訪(fǎng) 問(wèn) 量：466產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 組成要素 | 半導體激光器產(chǎn)品及設備 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
| 應用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子 |
具有高分辨率和效率的多功能光譜儀
隨著(zhù)在半導體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術(shù)的發(fā)展，極紫外輻射（EUV、XUV）已成為一個(gè)重要的工業(yè)意義。這導致對高分辨率和靈敏的診斷和測量技術(shù)的需求。因此，我們構建了一個(gè)模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線(xiàn)光譜儀，可用于等離子體光譜學(xué)、源診斷和計量學(xué)。它te別適用于激光等離子體源（LPS）和高次諧波源（高次諧波產(chǎn)生high harmonic generation，HHG）。
該光譜儀設計靈活，適用于多種應用。對于廣泛的幾何形狀，可以獲得非常高的光譜分辨率。通常，分辨率僅受檢測器系統像素大小的限制（XUV CCD 為 13.5 µm）。光譜儀的所有部件都是 UHV 級的。
寬帶高光譜分辨率
普通光譜儀針對一個(gè)波長(cháng)的特定分辨率進(jìn)行了優(yōu)化。相比之下，我們的專(zhuān)業(yè)設計可在寬帶寬下實(shí)現高分辨率。例如，我們的 XUV 光譜儀在 12-41 nm 的整個(gè)帶寬內達到<0.08 2="" 100="" nm="">10000 的超高分辨率。
操作方式及可用性
我們靈活的光譜儀提供多種操作模式，可以在操作過(guò)程中改變。
通過(guò)使用行程范圍為幾厘米的多軸電動(dòng)工作臺，用戶(hù)可以輕松地對設備進(jìn)行校準。此外，可以在光束路徑中在線(xiàn)放置不同的光學(xué)器件來(lái)測量不同的光束特性。該光譜儀具有以下工作模式:(1)XUV光束檢測，(2)角分辨光譜，(3)高效、光譜分辨率高的成像光譜。
下圖為角分辨光譜(a、b)和成像光譜(c、d)的測量結果。
我們提供
優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品
為您的應用程序全定制
2-100 nm 的光譜范圍
高達 λ/Δλ > 10000 的高分辨率
多功能設置：電動(dòng)載物臺和自適應法蘭
不透光的設置：可以集成遮光罩
超高真空 (UHV, < 10-9 mbar) 條件
在線(xiàn)操作模式&對準&光束檢測
狹縫和無(wú)狹縫設置
出色的信噪比 (SNR) 和Max. 的光收集效率
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