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簡(jiǎn)要描述：筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司是一家被上海市評為高新技術(shù)企業(yè)的專(zhuān)業(yè)光學(xué)服務(wù)公司，業(yè)務(wù)涵蓋設備代理以及項目合作研發(fā)，建有*的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實(shí)驗室，為國內外客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)技術(shù)支持服務(wù)Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測量0.6米工件 觸摸屏操作)
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2023-07-10訪(fǎng) 問(wèn) 量：573產(chǎn)品分類(lèi)
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| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 組成要素 | 半導體激光器產(chǎn)品及設備 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
| 應用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子 |
面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。
VICT（Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波 谷處的振動(dòng)免疫） 打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十 分精密的環(huán)境下工作"的認知。
30 納米 jue對精度,1nm重復精度
0.6 米直徑工件, 僅需 1 秒測量
表面形貌 3D 成像
全新的觸摸屏操作模式,Victsin 測量軟件,現已支持Windows11
自動(dòng)調平選件,讓全自動(dòng)測量成為現實(shí)
成盤(pán)測量選件 實(shí)現生產(chǎn)過(guò)程控制
一臺機器可測量多種工件 通過(guò)更換不同的鏡頭 平面、凹面、凸面…
能夠測量的工件
直徑 < 600 mm
粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件
超快速、超高精度的表面形貌三維成像
'
通過(guò)光路擴展, 測量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件
通過(guò)CGH補償器, 測量復雜曲面
黑色或透明工件, 仍然能夠測量
適合半導體應用的MST(多表面測量) 一次采集, 同時(shí)完成上表面、下表面、厚度的計量。
適合半導體應用的jue對測距干涉，量程 > 100 μm 可進(jìn)行臺階、翹曲度、熱變形的測量。
出色的動(dòng)態(tài)范圍， 超過(guò)100條干涉條紋, 仍然可以分析。
將 FEA（有限元分析）引入干涉儀結構設計
根據文獻, 干涉計算對 0~120 Hz 的振動(dòng)敏感。 因此, 我們將機械結構的 7 階模態(tài)設計到 127 Hz， 大大降低了機械結構對振動(dòng)的敏感性
超高重復精度
對一片 250mm 直徑的平晶進(jìn)行 1000 次連續測量。
PV 值的重復精度為 5.7 納米 (1/111 λ）
RMS 值的重復精度為 0.38 納米 (1/1666 λ）
VICT Dop模式,數據未經(jīng)人為修改
三維成像原理
面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路
VICT 技術(shù)原理
選件
VICT High 超高精度 測量模式
支持到0.1納米 ( 1/6330 λ）RMS重復精度 和1納米（1/633 λ）PV重復精度， 對環(huán)境擾動(dòng)進(jìn)行建模分析, 包括振動(dòng)、氣流、光場(chǎng)在內的負面影響排除。
沒(méi)有使用多次測量取平均的方法, 不會(huì )導致被測物面型被“美化" 。
VICT Dop 多普勒抗振動(dòng)測量模式
非常惡劣的工業(yè)環(huán)境下仍正常工作，所有模式中zui高的測量效率， 允許不使用隔振平臺。
蒙版跟蹤
超分辨三維圖
清潔度分析
基礎配置
| 主機 | 型號 | 測量尺寸(圓形-直徑)(注1) | 立式使用 | 臥式使用 | |
| Type100 | 102mm | OK | OK | ||
| Type150 | 152.4 mm | OK | OK | ||
| Type250 | 250mm | OK | OK | ||
| Type340 (注2) | 340mm | OK | OK | ||
| Type450 | 457.2 mm | x | OK | ||
| Type600 | 609.6 mm | x | OK | ||
| 注1:在80%直徑以?xún)仁褂脮r(shí),可以獲得更好的測量效果。 注2:推薦臥式使用,立式使用時(shí)會(huì )降低精度。 | |||||
| 激光測距點(diǎn)數 | 標準 | 692,224 | |||
| 高清 | 2,663,424 | ||||
| 高速 | 186,623 | ||||
| 超高速 | 692,224 | ||||
| 測量激光 | 激光器類(lèi)型 | 波長(cháng)(nm) | 8h波長(cháng)穩定度(nm)(注1) | 壽命(h)(注2) | |
| 穩定氦氖 | 632.8 | 0.0005 | 20,000 | ||
| 穩定半導體(注3) | 633 | 0.02 | 50,000 | ||
| 高效氦氖 | 632.8 | 0.1 | 20,000 | ||
| 高效半導體(注4) | 635 | 6 | 5,000 | ||
| 注1:在恒溫,隔振的實(shí)驗室測試。 注2:由激光器廠(chǎng)家提供的參考壽命。 注3:推薦用于Vctsin MST 注4:可用于Victsin MST | |||||
| 計算機 | CPU | 獨立顯卡 | 顯示屏 | 操作系統 | |||
| Intel 12代i712核心 | NVIDIA Quadro | 2k分辨率 | Win10 | ||||
| 測量軟件 | Victsir軟件模塊 | 掃描方式 | 單平面干涉(注1) | 雙平面干涉(注2) | |||
| Victsin Static (注3) | 無(wú) | OK | X | ||||
| Victsin PSI | 壓電振鏡 | OK | X | ||||
| Victsin MST | 波長(cháng)調諧 | OK | OK | ||||
| 注1:適用于大部分工件。 注2:通常適用于透明工件,同時(shí)對上表面,下表面,厚度,進(jìn)行測量。 注3:基礎版本,不推薦用于高精度測量。 | |||||||
測量精度
| jue對精度 注1 | Type 100~250 | Type 340 | Type 450~600 |
| PV | 31.64 nm或1/20λ | 42.19 nm或1/15 λ | 63.28 nm或1/10λ |
| RMS | 6.328 nm或1/100 λ | 8.437 nm或1/75λ | 12.66 nm或1/50 λ |
| 注1:jue對精度被定義為"參考鏡的jue對精度"實(shí)際測量的jue對精度=jue對精度＋重復精度。 注2:波長(cháng)為測量激光的波長(cháng)，例如632.8 nm的測量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm . 注3:該精度為我們提供的標準平面參考鏡的精度,更高精度需求請聯(lián)系銷(xiāo)售人員。 注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數值請聯(lián)系銷(xiāo)售人員確認。 | |||
| 重復精度 | VICT-High | VICT-Low | VICT-Dop |
| PV | 1 nm或1/633 λ | 3 nm或1/211λ | 10或1/63λ |
| RMS | 0.1nm或1/6330 λ | 0.3 nm或1/2110 λ | 1 nm或1/633λ |
| 注1:實(shí)際精度與測量環(huán)境有關(guān)，zui高精度與VICT-High相同,表格內數值考慮了輕微的環(huán)境擾動(dòng)。 | |||
PV值是 Peak to Valley （峰值與谷值的差值 ）
RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根據經(jīng)驗RMS值是PV值的1/3左右。因為像平面這類(lèi)的簡(jiǎn)單形狀，大多使用PV值來(lái)表示。
例如：面型精度的PV值是1/4λ時(shí)，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm
重復精度定義
連續100次測量的允差 (95%置信度)
測試環(huán)境
樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內空調關(guān)閉，以避免氣流擾動(dòng)。
被測物
直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。
可靠性與環(huán)境要求
| 硬件可靠性 | 平均沒(méi)的有.故障工作時(shí)間>1000小時(shí) 平均連續沒(méi)的有.故障工作時(shí)間>12小時(shí)/天 | |
| 軟件可靠性 | 平均連續沒(méi)的有.故障工作時(shí)間>12小時(shí)/天 | |
| 對準角度允差 | ± 3° | |
| 光瞳調焦范圍 | ≥±1.5米 | |
| 運輸和貯存 | 溫度 | +10~+40 °c |
| 濕度 | RH≤60% | |
| 工作條件 | 溫度 | +20~+25℃ |
| 溫度變化 | ≤±1℃ @24小時(shí) | |
| 濕度 | RH≤50% | |
| 電壓 | AC 220V,50 Hz,1.5kW | |
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